불소와 수소원자가 결합한 물질이다. 화학식으로는 HF이며. 매우 강한 산성을 띄고 있기때문에 관리에 신중을 기울여야 한다.

용도

이러한 불화수소는 반도체 공정에 사용하고 있다. 최근 일본의 무역제재에서는 고순도 불화수소(에칭가스)를 리지스트,폴리아미드와 함께 반출을 제한하였다.,