불소와 수소원자가 결합한 물질이다. 흔히 불산으로도 불리는데 화학식으로는 HF이며. 녹는점 섭씨 -83.6도,끓는점 섭씨 19.5도이다. 매우 강한 산성을 띄고 있기때문에 관리에 신중을 기울여야 한다.

용도

이러한 불화수소는 반도체 공정에 사용하고 있다. 최근 일본의 무역제재에서는 고순도 불화수소(에칭가스)를 리지스트,폴리아미드와 함께 반출을 제한하였다.,